Der Positionssensor des Herstellers Queensgate sorgt für höhere Genauigkeit und besseres dynamisches Ansprechverhalten. Auf der Basis der Kapazitätsmikrometrie bietet der NX NanoSensor^® eine derart hohe Empfindlichkeit, dass er Positionsänderungen auf atomarer Ebene messen kann. Dieses hochmoderne berührungslose Messsystem beruht auf zwei Sensorplatten – einer Ziel- und einer Sondenplatte – die einen Parallelplattenkondensator bilden. Durch eine entsprechende elektronische Steuerung kann der Abstand beider Platten genau ermittelt werden. Zu den Einsatzgebieten des NX NanoSensors zählen die Träger-/Tisch-Rückkopplung, Vibrationsmessung, Metrologie, Verformungsmessung, Präzisionsfertigung, Driftmessung, Präzisionsstrahllenkung und Mikroskopie. Der NX NanoSensor kann eine Position innerhalb einer Spanne von 7 pm mit einer Linearität von 0,02% und einer Bandbreite von 50 Hz bis 10 kHz bestimmen. Das System lässt sich so einstellen, dass entweder die Positionsgenauigkeit oder das Ansprechverhalten bei dynamischen Bewegungen verbessert wird. Die Plattenformen können rund, quadratisch oder rechteckig gewählt werden – mit einer aktiven Fläche von 22,5; 113 oder 282 mm2. Zusammen mit dem Sensor kommt das Controllermodul NS2000 zum Einsatz und misst jegliche Kapazitätsänderungen der Parallelplatten. Daraus wird eine Analogspannung erzeugt, die direkt proportional zum Positionsunterschied der Ziel- und Sonden-Sensorplatte ist. Die berührungslose Messung und der eigenerwärmungsfreie Mechanismus bedeuten, dass Produkte, die mit NX NanoSensor in Kontakt kommen, die Messwerte nicht verfälschen. Dies ermöglicht echte Messungen im Nanobereich. Durch eine nicht-hysteretische Technik ist die Position wiederholbar. Zahlreiche Materialien lassen sich für den Aufbau verwenden, z.B. Super-Invar, Zerdur, Aluminium, rostfreier Stahl und Keramik. Die thermischen Eigenschaften lassen sich somit an die geforderte Stabilität der Anwendung anpassen. Eine Positionsdrift wird somit vermieden. Hochvakuum-, strahlungsgehärtete, nicht-magnetische und Tieftemperatur-Varianten lassen sich ebenfalls spezifizieren.